中午，余子贤的加急检查报告出来了。</p>
医生诊断，余子贤的反复发烧是由于上呼吸道感染后引起的下呼吸道轻微感染，好在一点是肺部未出现验证。</p>
简而言之就是一般的春季常见的病毒性感冒！由于余子贤忙关于工作、休息不规律，再加上着凉抵抗力下降之后，被病毒入侵了。</p>
而之前反复发烧的原因是感染情况控制欠佳……医生开了针对感染类型的治疗药物之后，再次叮嘱余子贤按时服药，同时需休息避免再次受凉病情加重。</p>
就这样，余子贤在此出院了，带着医生开的药物，其中就有自助退烧的“缸内用药”。</p>
下午下班之后，曹飞他们回来汇报，目前干法刻蚀设备、磁控溅射设备、离子注入设备、硅片处理系统设备的采购商，进展相对顺利，已经有了比较正常的报价。</p>
因为在干法刻蚀设备、磁控溅射设备、离子注入设备、硅片处理系统这些设备上，生产厂家相对较多，厂家之间的竞争也比较大，所以给香积电他们的选择余地大一些。</p>
而且他们采购的设备都是好几年前研发出来的设备，相对于最新设备指标，差了至少两代，所以阻力才小。</p>
虽然这些厂家在干法刻蚀设备等设备的报价上相比其他厂家的采购价要高个10-20%，但是至少算是可以接受的价格。尽管此时除了光刻机的其他设备厂家报价已经超过了900万美金的价格。</p>
现在，香积电的采购任务卡在了光刻机上……</p>
“余总，我们目前正在和尼康、佳能作进一步接触，竟可能的得到他们给我们超高报价的原因和细节……”</p>
“嗯，好的，辛苦你们了。”</p>
曹飞又走了。</p>
现在余子贤真的很头疼，尼康和佳能万一真的一口咬定不降价怎么办？难道真的要找这个时候的asml？不知道asml他们生产的光刻机和此时其他日厂的生产的那些离子注入机等设备配套性怎么样？</p>
目前，在光刻机的研发和制造能够跟上主流节奏就是尼康、佳能和asml。</p>
1982年，在ibm的kanti jain开创性的提出了“excimer laser lithography（准分子激光光刻）”之后，准分子激光光刻机器（步进和扫描仪）在全球集成电路生产中得到广泛使用。</p>
现在芯片制造中的最小特征尺寸是0.5微米（200nm）。而在其关键作用的就是达到这个最小特征尺寸光刻机的制造。</p>
其中光刻机的制造有两道难关：</p>
第一道难关是光刻机的曝光光学系统，由数枚镜片串联组成；而此时asml镜头组由光学仪器公司德国蔡司独家生产，至于尼康和佳能，自身就是光学镜片的生产厂家。</p>
第二道难关是光刻机的激光光源。光刻用准分子激光器光源需要窄线宽、大能量和高脉冲频率，这些参数互相矛盾，研制难度极大。光源制造商cymer是一家美国公司，其余的制造商是东芝和松下等曰本公司。</p>
所以，这些光刻机关键的基础设计研究都被掌握在日美欧厂家的手里。</p>
后世，流传一个非常经典的故事“同样一个镜片，不同工人去磨，光洁度相差十倍。而德国蔡司抛光镜片的工人，祖孙三代在同一家公司的同一个职位。”</p>
余子贤想自己制造真的很难！关键时候，被卡脖子也就是美国人的一句话！半残男曰本和德de国就得乖乖听话。</p>
实在不行就去再去找asml试一试。尼康一台光刻机1000万美金的报价，而且还是好几年前的技术标准……这个要价实在太狠！</p>
“月姐，苏联那边的‘雪球计划’进展怎么样了？”</p>
余子贤现在总共也就两百万美金的资金，还都是东拼西凑搞来的，都是准备要用在苏联“雪球计划”上去的，轻一动弹不得。</p>
香积电设备采购资金，虽然现在进入咨询采购阶段，但是后续正式进入采购之后，资金的落实也将寄希望于“雪球计划”的盈利上。</p>
本来想着，一台设备技术特征1微米的光刻机有个100万美金，就算是这样，一条标准生产线上可是需要几台这样的光刻机配合的，再加上干法刻蚀设备、磁控溅射设备、离子注入设备、硅片处理系统，乱七八糟的所有需要配套引进的设备总价估计在1000万美金以上了。</p>