第一次进入清大光刻机车间，赵国庆有些激动，直接直奔主题，几个关键技术。</p>
“何教授，你们这光刻机用的什么光源？”</p>
“你还真懂光刻机啊！”</p>
赵国庆笑了笑：“书上有介绍！”</p>
何振华说：“用的高压汞灯光源，436纳米的蓝光汞g线，这类高压汞灯光源目前已经达到国际先进水平！”</p>
好吧，国际先进水平，国际上十年前都已经开始研究波长更短的紫光激光电源了。</p>
赵国庆想起KMBBF晶体，前世的他发现KMBBF晶体在零下213摄氏度的时候，出现超导现象。</p>
就在他用x光穿透KMBBF晶体，想要检测KMBBF晶体的分子结构时，发现进入超导状态的KMBBF晶体，竟然可以反射X光。</p>
这可是了不得的发现。</p>
X光因为有强大的穿透力，目前任何透镜都不能让他转移方向，而KMBBF晶体如果能让X光反射的话，可以通过凹面镜，缩小掩膜版的图像，对光刻机光源有着颠覆的变革。</p>
可惜的事，发现这件事后，没多久就挂了，没有再研究下去。</p>
不过，现在，他有足够的时间继续这项研究。</p>
何振华教授继续介绍，从口气中听出的，全部是遥遥领先。</p>
“采用的是国际先进的非接触式透镜曝光方法，成像质量高，比起三年前H大制作的接触式曝光，可以显著提高掩膜版的使用寿命，并且透镜曝光可以以掩膜版比光刻图案5:1的比例，可以制造更复杂的芯片。”</p>
赵国庆点点头，他虽然对光刻机算不上内行，但怎么也能说是见多识广。</p>