对何振华来说，解决一微米制程的需求，远比铜导线要急迫的多，在车上，何振华都迫不及待的提出他们面临的困惑。</p>
这些专业的问题，徐校长还有高所长是没办法加入讨论的。</p>
“高压汞灯发射的紫外线有g线436纳米，i线365纳米，最理想的状态肯定是滤除g线，只保留i线，事实上i线占比太小，我们没办法得到足够功率的i线光源……”</p>
研究光刻机的都知道，波长越短的光线，分辨率越高，这跟光的一项特性有关。</p>
那就是双缝干涉，波长越长，干涉的缝间距越大。</p>
365纳米的i线显然比436纳米的g线具备更大的优势。</p>
但技术上达不到，也只能干瞪眼。</p>
“试一试用水！”</p>
“水”</p>
什么情况？何振华脑子一脸懵。</p>
赵国庆说：“436纳米光线入水，速度降低大概33%，频率不变的情况下……”</p>
“波长会变短！”何振华声音因为激动，音调变得很高，将所有人的目光吸引过来了。</p>
“国庆，你真是个天才，我怎么没想到，按照这么来计算的话，在水中436纳米的波长，也就相当于326纳米的光线，比起i线365纳米更要优秀！”</p>
赵国庆点点头，好吧，先让你兴奋兴奋，这是二十年后的技术，需要将整个工台浸到水里，光刻的过程也在水中进行。</p>
需要高纯水，还要解决污染问题，相应的光刻胶稳定，介质也要解决，气泡怎么办？还有整个工台的防水处理。</p>