说话之人是王院士,这条芯片生产线,就是在他的主导之下建成的,可以说这里的每一台设备,每一条传送带,他都了如指掌。</p>
王院士将乔瑞达和周万达二人,带到生产线起始端,开口继续介绍道:“咱们这条芯片生产线,是在一条0.13μm生产线的基础上改造的,所以使用的还是六英寸晶圆。现在国际主流的芯片生产线,已经用上了八英寸甚至十二英寸的晶圆,在良品率和生产成本上,都有巨大的优势。”</p>
“这次只是流片测试,不是批量生产,所以使用的晶圆只有30片。现在正在进行的步骤是涂胶,也就是使用涂胶机,将光刻胶均匀的涂抹在晶圆的表面。下面要进行的步骤是第一次光刻机光刻,后面还有显影、刻蚀、离子注入等步骤。”</p>
王院士不愧是老牌教授,基础知识扎实,口才出众,讲解的深入浅出,即使乔瑞达这个第一次接触芯片生产的新人,也听了个清楚明白。</p>
就这样,乔瑞达跟在王院士的身后,将芯片的生产流程,从头到尾的跑了一遍。由于要用到多重曝光技术,涂胶、光刻、显影等步骤,要来回折腾好几次,其间还要更换掩膜版和部分掺杂用料,耗时十分之长。所以当30片六寸晶圆,跑完所有工序,走下生产线的时候,已经是傍晚时分了。</p>
加工完成的硅晶圆,表面多了一些花花绿绿的刻蚀图案,看起来非常的漂亮。王院士亲自动手,将这30片硅晶圆,放到一个密闭容器中,封存了起来,而后说道:“今天时间不早了,就到这里吧,明天上午再去做切割和封装测试,到时候就可以知道这次的流片是否成功了。”</p><div id='gc1' class='gcontent1'><script type='text/javascript'>try{ggauto();} catch(ex){}</script>