光刻机联合研究中心。
苏远山是被郑振川一个期期艾艾的电话直接给叫到这边来的在电话中,郑振川只是说光源小组和硅谷的林本坚团队出现了摩擦。
当时把苏远山吓得够呛,下楼抢了一辆自行车就往光源实验室赶去。
不过当听到所谓的摩擦后,他微微松了口气。
……
“意思是林本坚那边说,根据他的技术直觉,KBBF晶体无法用在DUV光源之上?”苏远山望向赵凯东问道。
赵凯东正在一根一根地抽着烟,点了点头:“是的,但国外已经出现了KBBF的倍频技术……我们这边也有所突破了。”
苏远山抿了抿嘴,深深地皱起了眉。他知道,KBBF现在是可以出口的,而且国家甚至还大力提供……希望与国外共享技术。
“老林那边就一个直觉吗?”
“不是……是目前已有的光源来看,KBBF晶体不足以满足光刻机的持续、大功率激光输出。”赵凯东望向苏远山:“但我们相信……大功率肯定是能的。”
苏远山轻轻叹了口气:“我当然也相信……”
苏远山知道,后世KBBF是一直没有用在光刻机上的或者说,加个主流。当初他让赵凯东搞KBBF,也是怀着侥幸,希望能够从KBBF上完成突破,从而一举打破193纳米的桎梏,再加上浸润式,到时候就能很轻易地靠着DUV就下探到5nm制程之下。
现在被林本坚这个光学大师级人物直接反对了,苏远山一时半会还真不知道怎么判断了。
不过有一点他是相信的,就是KBBF的技术肯定有用大功率激光器了解一下。
沉吟许久后,苏远山轻声道:“这样,老林那边的团队……因为投入有限,同时也要考虑到极端条件下的政策因素。所以我们不能把鸡蛋放在一个篮子里,这边还是用两条腿走路的形式。”
“马上校招季到了,远芯这边也招一批搞光学的研究生进远芯,你们也往上面申请一下。”
赵凯东也轻轻叹了口气。
他作为搞技术的,当然是看到技术,看到困难就要突破。但也他知道苏远山为难,如果搞到最后KBBF真不能用在光刻机上,那苏远山投入的钱可就真打水漂了……
远芯怎么说都是个企业,在明确有大佬提出此路不通的时候再硬着头皮冲,而不是谨慎一点,这可不是搞企业的好习惯。
“行,那我们两条腿走路。”
“嗯,那就拜托赵叔了。”
苏远山说着又回头对郑振川道:“郑叔,你们这边情况如何?”
“我们这边挺好,订购的零部件都已经通过了,估计三个月内就能完全到齐。”相比赵凯东,郑振川这边的心情要好许多,他这边设计的光刻机采用的是紫外光,理论上是可以搞定0.5微米制程的。
听到这里,苏远山心情也好了不少:“万里长征第一步出来了。”
“嗯啊,这也才是第一步……我不求能达到量产质量,只求能稳定运行就行了。”郑振川笑道。
远芯从成光所拖过来的光刻机,确实有点一言难尽。在经过不断的调试之后,它倒也能勉强完成它的使命能够造出1微米制程的元器件了。
但也仅限于此,想靠它赚钱那是休想。