既然猜到了曲慧极有可能是在双工件台技术上取得了突破，苏远山接下来可就真有点坐不住了。
但他太了解曲慧了。
这姐妹儿，干练豪爽不说，还古灵精怪……既然打定主意要给自己兜圈子，那自己怎么问都是没个结果的。
好在一小时并不长，当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后，时间便迅速流逝起来。
嗯，主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文。
……
一小时后，曲慧与郑振川如约而至。
“郑叔，慧姐，好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着，就连茶都已经准备好了。
“嗯，是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发，还梳了个马尾，脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面。
“这下可以说了吧，到底是什么惊喜别让我猜啊。”
“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情，端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道：“你猜到了是吧？”
“你和郑叔一起过来，不是光刻机的事还能是啥？”苏远山一摊手，笑道：“让我干等了一个小时，再惊的喜也给整没了。”
“害！我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的对了，周小慧呢？”
“不知道，估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来，她去接待一下。”苏远山顿了顿，望向郑振川：“郑叔，别告诉我，你们已经将工件台用在光刻机上了。”
“哈哈，当然没有。”
郑振川放下茶杯，冲苏远山乐道：“你先听小曲的，等会我再说。”
“嗯……”苏远山听到郑振川这语气，顿时心中多了几分“警惕”起来。
这老爷子，语气听起来不对呐！
感情这次不是单纯的“报喜”，似乎还有套等着自己。
不过他依旧（www.hao8.net）不动声色，整个人放松了姿势：“曲慧姐，你说，工件台到底怎么样了。”
“成了，但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少，此刻也不开玩笑，正色了起来：“你知道的，制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”
苏远山点头：“嗯，不用你说，我就算再不懂机械也知道。”
“精度的最大问题又会最终落在电机控制，材料，加工精度上。”曲慧抿着嘴，慢慢道。
“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来，原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光，一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕，就可以不用再测量对准，从而直接就可以移动平台，然后曝光。”
“根据我们的估计，在目前的工艺水平下，采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外，还可以略微提高精度别的不说，10%起码有的。”
苏远山再次点头：“然后呢？”
“我们这次取得的突破，是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬！
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂，他也知道，实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统，是真正的“牵一发动全身差之毫厘，谬之千里”。
而且苏远山还知道，ASML的初代双工件台，其实效率并不十分高，只能说略有提升就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟，还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样，才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么……既然都已经取得突破了，还有什么麻烦？
“那麻烦在哪？”
“麻烦在于，我们目前只能实现0.5微米的精度。”曲慧紧缩着眉，凝望着苏远山道：“而且，精度越高，摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心，它在未来能不能追上光刻机的步伐。”
“我给你坦白吧，目前首精上下普遍（www.biquwu.cn）都很振奋我虽然也高兴，也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上，那它的意义就少了许多。”
“还有一点，我们目前的工业基础，只能允许我们做到这个极限。”
苏远山沉默（www.19mh.com）地听着曲慧的介绍，终于明白了她的忧虑在哪。
几秒后，苏远山微笑着摇头：“曲慧姐，其实你们已经很厉害了。”
他这句话不是安慰人，而是真心这样认为。
虽然他很少直接去首都精科那边，但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助，就算要机床，他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。
所以，双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术，但实际上，却是一个由原首都精密仪器研究所，远芯，志远，清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。
从阵容上，这个团队就已经堪称豪华了。
要知道，搞机械，特别是精密机械，它不比搞程序设计。
程序设计可以叫嚣“只有想不到，没有做不到”，但机械设计还真是，你能想到，但基本上办不到。
双工件台的构思说白了，就如曲慧所说的那样，源自华罗庚老先生的统筹方法就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净，茶叶拿出来丢进杯子里，顺便还拧着暖水壶在一旁等着，只要水开，马上就能泡茶，装水，一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的0.5微米的运动精度其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻0.5微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧（www.hao8.net）保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了EDA的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。