“这样,曲慧姐,我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走,但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯?你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦,所以……如果要把目光瞄准到十年,二十年之后,瞄准到纳米级精度的话,我认为,只有一条路,就是磁悬浮。”
“磁悬浮?”曲慧闻言一怔,直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来:“小山,磁悬浮能用在工件台上?”
“不是磁悬浮能用在工件台上,而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏,实现超精密运动控制,在现有的自然科学和机械空城的框架下,就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默(www.19mh.com)数秒后慢慢点头,喃喃道:“是了,磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势,避开短板。”
“可是,那个难度怕是有点大吧?现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案?”郑振川则想了想,迟疑地问道。
“不知道,但管他呢!”曲慧吸了口气,整个人瞬间振奋了起来,望向苏远山道:“小山,你真觉得那是个方向?”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
*
*
有了新方向的曲慧再无心交谈,转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样,苏远山也在心里暗暗发笑曲慧别看已经三十岁了,可长期以来身处科研一线,身份身家都无与伦比,以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔,怎么说?”苏远山起身给郑振川斟满茶水,笑呵呵地问道:“你别告诉,你是来推销光刻机的。”
“嗯,还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来,笑着道:“我们拿到了蔡司的镜头和Cymer的KrF光源,接下来就能量产最低0.18微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠!”
苏远山眼珠子一瞪,差点没从沙发上弹起来:“怎么拿到的?”
“呵呵,别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶:“怎么样,要不要来两台?”
“等等!”苏远山马上便清醒过来:“别拿空头支票来忽悠我,先说清楚,什么时候可以可以出厂。”
“最多半年。”
听到这个半年,苏远山又默(www.19mh.com)默(www.19mh.com)地算了一下自家光源的时间,这才慢慢平静下来,笑着骂了一句:“NND,帝国主义亡我之心不死。”
“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了,对吧?”
“嗯,这倒是。”
苏远山含笑望着郑振川,突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
很显然,在这个时候,蔡司和Cymer突然对国产光刻机放行,除了有霓国同行的竞争之外,还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
要知道,他们给的光源和镜头,可不是最先进的……
Cymer都已经搞出193的ArF了,正在想搞EUV或者F2呢。
“不过郑叔,我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机,他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩,呵呵笑道:“差不多半年。”
“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山:“当初你说好要支持的呢?”
“我当然一直都是支持的,但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我,而是应该去找德远的张博士。”
说着苏远山便疑惑起来:“不对,郑叔……无锡那么多晶圆厂,为什么你不去找他们?”
远芯在光刻机,晶圆厂的战略方向一直很明确,就是以保持制程和工艺的领先换言之就是设备上不能落后。
光刻机自然要支持,甚至还要大力支持。但钱可以出,在有选择的情况下,买一堆落后的产品,这事儿却是不能干的。
国家也认同远芯的发展,因此从来把希望寄托在远芯身上,继而让华晶,华鑫,首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机,用以扶持。
所以郑振川找苏远山,是没找对门。
“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头,悠悠地来了一句。
苏远山便望向郑振川,只见后者的表情已经变得苦涩了起来。
郑振川沉默(www.19mh.com)几秒后,发出了一声轻叹:“国外同行在今年开了不少口子,国内的晶圆厂,只要有钱,基本上都能买到KrF的光刻机……”
“现在国家上上下下都在讲市场化,就算上面再支持我们,也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧?”
“而且……我们的光刻机……确实,我承认,稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚,这是很正常的,总要给我们一点时间进步和完善,对吧?”
“现在倒好,随着国外解禁,国内企业又开始有钱了……再加上国家一直在推动无锡那边的产业升级,成立了以华晶为首的半导体联盟。旨在提高整个国内半导体行业的元器件自产率和制程升级……所以,我们在目前落后两代的情况下,确实有点难搞。”
“现在无锡那边,已经有人在诋毁说咱们的光刻机这不行,那不行……还不如多花点钱买ASML和尼康佳能。”
“在那些人眼里,晶圆厂就是印钞厂,光刻机就是印钞机,就算再贵,只要够先进,能稳定运行,那印到后面就是印的钞票。”
静静地听郑振川说完,苏远山意识到,历史的走向已经完全改变了。
但有一样还是没变。
造不如买的思想没变。
事实上,造不如买不仅仅是一种思想,而是一个持续在整个工业化进程中的现象。
原因很简单,机械设备领域,确实不如别人。
工欲善其事,必先利其器。
哪怕它再贵,稳定性和效率依旧(www.hao8.net)压倒一切。